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        上海誠懇為您揭秘擴散硅變送器的那些事

        時間:2021-10-11 瀏覽次數:28

          作為壓力變送器中的一員,擴散硅變送器可替代傳統的遠傳壓力表,霍爾元件、差動變送器,并具有DDZ-Ⅱ及DDZ-Ⅲ型變送器性能。能與各種型號的動圈式指示儀、數字壓力表、電子電位差計配套使用,也能與智能調節儀或計算機系統配套使用。
          
          該變送器利用壓阻效應原理,采用集成工藝技術經過摻雜、擴散,沿單晶硅片上的特點晶向,制成應變電阻,構成惠斯凳電橋。利用硅材料的彈性力學特性,在同一切硅材料上進行各向異性微加工,就制成了一個集力敏與力電轉換檢測于一體的變送器。
          
          擴散硅變送器的優勢特點:
          
          1、適合小量程的變送器,硅芯片的這種力敏電阻的壓阻效應在零點附近的低量程段無死區,制作壓力傳感器的量程可小到幾個Kpa。
          
          2、輸出靈敏度高,硅應變電阻的靈敏因子比金屬應變計高50~100倍,故相應的傳感器的靈敏度就很高,一般量程輸出為100mv左右。因此對接口電路無特殊要求,使用比較方便。
          
          3、由于傳感器的感受、敏感轉換和檢測三部分由同一個元件實現,沒有中間轉換環節,重復性和遲滯誤差較小。由于單晶硅本身剛度很大,變形很小,保證了良好的線性。
          
          4、由于工作單性形變低至微應變數量級,彈性芯片位移在亞微米數量級,因而無磨損,無疲勞,無老化,壽命長達1×103壓力循環,性能穩定,可靠性高。
          
          5、由于硅的優良化學防腐性能,即使是非隔離型的擴散硅壓力傳感器,也有相當程度的適應各種介質的能力。
          
          6、由于芯片采用集成工藝,又無傳動部件,因此,擴散硅變送器體積小,重量輕。
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